系统整体采用花岗石龙门框架结构设计，可以完美保证高精度机床和光学系统优良的稳定性。根据不同的应用领域，用户可选配扫描振镜加工头、螺旋光束扫描加工头、高数值孔径物镜加工头，也可定制双工位方案配置双加工头满足更多加工需求。大型飞秒微加工系统内部集成了美国Aerotech公司超长行程五轴高精度定位平台和行业内高功率高稳定性飞秒激光器，结合美国UpTek公司独特的光学结构和控制系统设计，以及在飞秒激光超精密加工领域丰富的经验，使得ImpeRay大型微加工系统在精密刻蚀、精密焊接、精密切割、精密钻孔、微结构制作等领域有着卓越的表现。
功能特点
1． 集成超长行程多轴高精度定位平台
2． 超稳定大理石龙门支架结构
3． 模块化设计光束传输系统
4． 功能丰富的激光加工头
5． 可定制双工位结构
6． 兼容多款超快激光器
应用领域
1． 飞秒激光直写光波导
2． 飞秒激光精密切割
3． 飞秒激光微结构制作
加工头选项
1． 扫描振镜加工头
2． 螺旋光束扫描加工头
3． 高数值孔径物镜加工头
