系统概述
飞秒激光微纳加工系统采用了高功率高稳定性的飞秒激光器，配备独特的光学结构和控制系统，集成了五轴高精度运动控制平台和机器视觉系统，并配置了高端定制机柜。主要针对于超快激光刻蚀、表面处理和表面3D雕刻、触摸屏和ITO切割以及金属陶瓷等材料的钻孔和切割等等。整个系统结构紧凑，具有工业级高稳定性、高可靠性等特征。在精密刻蚀、精密切割、精密钻孔、微纳结构制造等领域具备卓越表现。
系统特点
1. 集成超长行程多轴高精度定位平台
2. 超稳定大理石龙门支架结构
3. 兼容多款超快激光器
4. 模块化设计光束传输系统
5. 功能丰富的激光加工头
6. 可定制双工位结构
7. 标配机器视觉监视系统
应用领域
1. 飞秒激光直写光波导
2. 飞秒激光精密切割
3. 飞秒激光精密钻孔
4. 飞秒激光微结构制作
5. 飞秒激光表面微处理
加工头选项
1.扫描振镜加工头
2.螺旋光束扫描加工头
3.高数值孔径物镜加工头
